Den Boden bereiten
Komponenten für Vorbehandlung
Für saubere, bindungsaktive Substratoberflächen
Oberflächenbehandlung wird häufig als Vorbehandlung eingesetzt, um die oberste Schicht zu reinigen, zu entfernen oder zu aktivieren. Die Vorbehandlung dient auch dazu, eine optimale Schnittstelle für die Schicht zu bilden, die abgeschieden werden soll.
Dies ist notwendig, weil die Substratoberfläche oft nicht gut definiert ist. Außerdem gibt es verschiedene Rückstände, wie Oxide und Hydroxide des Substratmaterials, Wasser, adsorbierte Gase und Restverunreinigungen aus früheren Prozessen. Diese Faktoren können eine zuverlässige mechanische oder funktionale Schichtaufbringung verhindern.
Zum Einsatz kommen hier thermische oder plasmabasierte Verfahren, mit denen im Vakuum, unmittelbar vor der Beschichtung restliche organische Oberflächenverunreinigungen oder Wassermoleküle von der Oberfläche entfernt werden.
Je nach Material oder Verunreinigungsgrad verdampfen die Oberflächenbelegungen durch Temperatureinfluss. Oder sie werden durch Ionenbeschuss regelrecht abgetragen.
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Komponenten
Engineering
Simulation . Bemusterung . Auslegung
Technology & Application Center
Bemusterung . Entwicklung . Skalierung
Service
Kundenportal . Ersatzteile . Schulungen
Booth: nn
Chicago Hilton, Illinois, USA
Booth: 318
Messe Frankfurt (1 Halle)
Booth: A / 099
Suzhou. (The city close to Shanghai)
Booth: 321
Grand Exhibit Hall of the Towne and Country Hotel
and Convention Center San Diego
California, USA
Booth: Messe DD (Halle 3)